光芯片 COT AOI

功能概述

▷适用于GaN、lnP、GaAs衬底的芯片检缺陷检测、识别与分类。

▷采用CCD彩色相机检查，能清晰照出缺陷类型；

▷50X Review分辨率 0.07um/pixel,可以套刻测量

▷支持深度学习对缺陷类别进行精准分类； 

▷支持多通道、多空间光源；

▷支持用户定义或协商定制缺陷类别

▷报表可输出缺陷种类、缺陷Map、晶圆分级、输出等丰富报表功能；

▷报表内容包括良率数据、各种NG芯片数据等，具有良率监控功能，低于一定数值 报警（不上抛） ，并生成良率报表；

▷支持检测数据按客户要求上抛到MES。

▷可延展性强，可由用户自进行检测参数、卡控标准的设定，异常检测种类及检测区域可由用户自定义调整。

技术规格书

联系人

常先生 182 1881 3282