光芯片 COW AOI

发布日期：2025-04-14 10:08:02浏览次数：230

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功能概述

▷适用于蓝宝石、GaN、lnP、GaAs衬底的COT芯片单面检缺陷检测、识别与分类。

▷采用65M CCD彩色相机检查，能清晰照出缺陷类型；

▷支持深度学习对缺陷类别进行精准分类；

▷支持多通道、多空间光源；

▷支持用户定义或协商定制缺陷类别

▷报表可输出缺陷种类、缺陷Map、晶圆分级、输出等丰富报表功能；

▷报表内容包括良率数据、各种NG芯片数据等，具有良率监控功能，低于一定数值报警（不上抛），并生成良率报表；

▷支持检测数据按客户要求上抛到MES。

▷可延展性强，可由用户自进行检测参数、卡控标准的设定，异常检测种类及检测区域可由用户自定义调整。

联系人

常先生 182 1881 3282

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