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发布日期:2025-07-11 10:53:10浏览次数:151
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功能概述

▷适用于蓝宝石、GaN、lnP、GaAs衬底的芯片检缺陷检测、识别与分类

▷采用CCD相机检查,能清晰照出缺陷类型;

▷可进行明场检测,暗场检测及紫外检测;

▷支持深度学习对缺陷类别进行精准分类; 

▷支持多通道、多空间光源;

▷支持用户定义或协商定制缺陷类别,但增加缺陷类别可能会影响产能。

▷报表可输出缺陷种类、缺陷Map、晶圆分级、输出等丰富报表功能;

▷报表内容包括良率数据、各种NG芯片数据等,具有良率监控功能,低于一定数值报警(不上抛),并生成良率报表;

▷支持检测数据按客户要求上抛到MES。


技术规格书

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联系人


常先生 182 1881 3282


182 1881 3282