

▷适用于蓝宝石、GaN、lnP、GaAs衬底的芯片检缺陷检测、识别与分类
▷采用CCD相机检查,能清晰照出缺陷类型;
▷可进行明场检测,暗场检测及紫外检测;
▷支持深度学习对缺陷类别进行精准分类;
▷支持多通道、多空间光源;
▷支持用户定义或协商定制缺陷类别,但增加缺陷类别可能会影响产能。
▷报表可输出缺陷种类、缺陷Map、晶圆分级、输出等丰富报表功能;
▷报表内容包括良率数据、各种NG芯片数据等,具有良率监控功能,低于一定数值报警(不上抛),并生成良率报表;
▷支持检测数据按客户要求上抛到MES。

联系人
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