

▷适用于GaN、lnP、GaAs衬底的芯片检缺陷检测、识别与分类
▷采用彩色图像检查,能清晰照出缺陷类型;
▷支持深度学习对缺陷类别进行精准分类;
▷支持多通道、多空间光源;
▷支持用户定义或协商定制缺陷类别,但增加缺陷类别可能会影响产能。
▷报表可输出缺陷种类、数目等参数;
▷报表内容包括良率数据、各种NG芯片数据等,具有良率监控功能,低于一定数值报警(不上抛),并生成良率报表;
▷支持检测数据按客户要求上抛到MES。

联系人
常先生 182 1881 3282
Copyright © 2020 鹏乐智能系统 粤ICP备2020076578号-1