24 7月, 2020 LED芯片AOI LED芯片AOI 项目参数产品技术指标产能70百万/小时产能分辨率1.5微米可检最小瑕疵3微米最大检测直径8Inches(200mm)建模方式自动建模可检缺陷类型表崩、倒晶、晶粒裂痕、表面脏污、电极缺损、粗化水痕、外延层脱落、针痕过大、切割道污染缺陷复核方式软件二次核查,超声波剔废